Der optische MEMS-Schalter soll eine Reihe winziger Spiegel in den Siliziumkristall gravieren. Durch die Einwirkung elektrostatischer Kraft oder elektromagnetischer Kraft wird das Mikrospiegelarray gedreht, wodurch die Ausbreitungsrichtung des Eingangslichts geändert wird, um die Funktion des Ein- und Ausschaltens des optischen Pfads zu realisieren. Der optische MEMS-Schalter schaltet die Lichtwellenführung durch externe Steuerinformationen und die entsprechenden hohen und niedrigen Pegel um, um zu steuern, ob der interne Mikrospiegel angehoben wird oder nicht.