Das Funktionsprinzip des optischen MEMS-Schalters wird kurz beschrieben

Was ist MEMS? MEMS (Micro Electro Mechanical System) bezieht sich auf die Mikrogeräte oder -systeme, die durch die Integration von Mikromaschinen, Mikroaktoren, Signalverarbeitung und Steuerschaltung in Serie hergestellt werden können. Der Vorbereitungsprozess der mikromechanischen Struktur umfasst Lithographie, Ionenstrahlätzen, chemisches Ätzen, Waferbonding usw. Gleichzeitig werden Elektroden auf der mechanischen Struktur für die Steuerung durch elektronische Technologie vorbereitet.
MEMS ist eine Art Mikromotorsystem. Nach der Präparation der mikromechanischen Struktur muss diese mit elektronischer Technologie gesteuert werden. Typische Antriebsmechanismen sind elektrostatische Anziehung, elektromagnetische Kraft, Elektrostriktion und Thermoelement. Unter allen Antriebsmechanismen von MEMS-Bauelementen ist die elektrostatische Anziehungsstruktur aufgrund ihrer einfachen Herstellung, einfachen Steuerung und ihres geringen Stromverbrauchs die am weitesten verbreitete.
Der optische MEMS-Schalter besteht darin, eine Reihe von Mikrolinsen in den Siliziumkristall zu schnitzen und das Mikrospiegelarray durch die Wirkung elektrostatischer Kraft oder elektromagnetischer Kraft drehen zu lassen, um die Ausbreitungsrichtung des Eingangslichts zu ändern, um die Funktion des Ein- und Ausschaltens des optischen Pfads zu realisieren. Der optische MEMS-Schalter schaltet den Lichtwellenweg durch die externen Steuerinformationen und den entsprechenden hohen und niedrigen Pegel um, um zu steuern, ob die interne Mikrolinse angehoben wird oder nicht.