Was ist MEMS? MEMS (Micro Electro Mechanical System) bezieht sich auf die Mikrogeräte oder -systeme, die durch die Integration von Mikromaschinen, Mikroaktuatoren, Signalverarbeitung und Steuerkreisen in Serie hergestellt werden können. Der Herstellungsprozess der mikromechanischen Struktur umfasst Lithographie, Ionenstrahlätzen, chemisches Ätzen, Waferbonden usw. Gleichzeitig werden Elektroden auf der mechanischen Struktur für die Steuerung durch elektronische Technologie vorbereitet.
MEMS ist eine Art Mikromotor-System. Nach der Vorbereitung der mikromechanischen Struktur muss sie mit elektronischer Technologie angetrieben werden. Typische Antriebsmechanismen sind elektrostatische Anziehung, elektromagnetische Kraft, Elektrostriktion und Thermoelement. Unter allen Antriebsmechanismen von MEMS-Geräten ist die elektrostatische Anziehungsstruktur aufgrund ihrer einfachen Vorbereitung, einfachen Steuerung und ihres geringen Stromverbrauchs die am weitesten verbreitete.
Der optische MEMS-Schalter besteht darin, eine Reihe von Mikrolinsen auf den Siliziumkristall zu schnitzen und das Mikrospiegelarray durch die Einwirkung elektrostatischer Kraft oder elektromagnetischer Kraft rotieren zu lassen, um die Ausbreitungsrichtung des Eingangslichts zu ändern, um die Funktion des Ein- und Ausschaltens des optischen Pfads zu realisieren. Der optische MEMS-Schalter schaltet die Lichtwellenroute über die externen Steuerinformationen und den entsprechenden High- und Low-Pegel um, um zu steuern, ob die interne Mikrolinse angehoben wird oder nicht.
